新系統擴展了ASM作為業界標竿的單晶圓碳化矽磊晶系統產品組合，包括6吋PE1O6和8吋PE1O8系統，具備更高的產量、更低的擁有成 … 繼續閱讀 ASM推出PE2O8碳化矽磊晶系統